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CVD管式爐在使用前要做好哪些準(zhǔn)備工作？
更新時(shí)間：2022-06-13 點(diǎn)擊次數(shù)：3064
CVD管式爐是一款在沉底材料上生長(zhǎng)高質(zhì)量石墨烯、碳納米管、碳化硅的設(shè)備，廣泛應(yīng)用于在半導(dǎo)體、納米材料、碳纖維、碳化硅、鍍膜等新材料新工藝領(lǐng)域。
CVD管式爐的使用方法：
準(zhǔn)備工作：
1、設(shè)計(jì)升降溫曲線(xiàn)，升溫速率不得高于10℃/分鐘，降溫速率應(yīng)低于15℃/分鐘。
2、清掃環(huán)境。
3、每周開(kāi)始使用時(shí)，檢查機(jī)械泵油線(xiàn)處于標(biāo)線(xiàn)以上，拆除兩端蓋，用吸塵器清潔剛玉爐管。
4、將樣品舟推入剛與管爐膛中部（恒溫長(zhǎng)度10cm）。
5、塞上兩塊隔熱爐塞，使第二個(gè)爐塞的末端與爐體側(cè)面平齊。
6、裝上氣爐法蘭，確認(rèn)密封墊落入槽中。
開(kāi)爐：
1、開(kāi)啟總電源，風(fēng)扇啟動(dòng)。
2、開(kāi)面板電源（順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)Lock旋鈕），啟動(dòng)面板。
3、使儀表處于初始狀態(tài)（即PV顯示數(shù)值，SV閃爍顯示Stop），此時(shí)若不處于該狀態(tài)，則按向上鍵對(duì)儀表清零，使儀表只處在測(cè)顯狀態(tài)。
4、按向左鍵1秒，進(jìn)入溫度設(shè)定狀態(tài)，通過(guò)按向左鍵移動(dòng)光標(biāo)，按向上鍵和向下鍵來(lái)調(diào)節(jié)溫度的設(shè)定數(shù)值。
5、按回車(chē)鍵1秒，進(jìn)入時(shí)間設(shè)定狀態(tài)，通過(guò)按向左鍵移動(dòng)光標(biāo)，按向上鍵和向下鍵來(lái)調(diào)節(jié)時(shí)間的設(shè)定數(shù)值。
6、程序后一步為時(shí)間狀態(tài)，數(shù)值為-121，以結(jié)束全部程序，按回車(chē)鍵確定。
7、按住向左鍵不放，然后按下回車(chē)鍵，則退出程序設(shè)置。
8、按向左鍵進(jìn)入程序設(shè)定狀態(tài)，再連續(xù)按回車(chē)鍵檢查設(shè)定的程序是否符合預(yù)定的升降溫曲線(xiàn)。
9、按住向左鍵不放，然后按回車(chē)鍵復(fù)位。
10、按回車(chē)鍵2秒，進(jìn)入基本參數(shù)設(shè)置，連續(xù)按回車(chē)鍵檢查基本參數(shù)（n5=389.7，p=15，t=10，ctrl=3，opl=28）。
11、按住向左鍵不放，然后按回車(chē)鍵，復(fù)位、
12、按回車(chē)鍵1秒，檢查是否為STEP1，即程序從步開(kāi)始執(zhí)行。
13、按住向左鍵不放，然后按回車(chē)鍵，復(fù)位。
14、按向下鍵2秒，SV顯示Run運(yùn)行程序。
15、按綠色TurnOn鍵，啟動(dòng)加熱電源，觀察電流表、電壓表：（若工作電流超過(guò)150A持續(xù)幾秒鐘，按下Turnoff鍵斷開(kāi)加熱電源，檢查功能參數(shù)的設(shè)定）。
16、在使用惰性氣體做工作氣體時(shí)，升溫過(guò)程中嚴(yán)密注意壓力表，如壓力高于0.08MPa，立即打開(kāi)出口閥放氣。
17、在使用氫氣做工作氣體時(shí)，降溫過(guò)程中要注意監(jiān)視錐形瓶中出氣的情況，如果有倒吸情況，應(yīng)立即逆順時(shí)針調(diào)節(jié)流量計(jì)旋鈕，增加進(jìn)氣量。
18、操作者在升溫、保溫、降溫過(guò)程中不得離開(kāi)，如遇跳閘，要立即合閘供電。
